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一代,但成本也同步大幅攀升。 其价格接近普通EUV设备的1.8倍,超高定价源于独家光学组件、复杂光源系统与漫长调试周期,加之全球仅阿斯麦能供应,进一步推高了终端售价。 台积电并非完全放弃该技术,此前已采购少量设备用于研发,但不用于量产。 公司正通过工艺优化
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发布时间:17:11:36
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